贵金属靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或残料什么都是可以回收再利用的。比如金靶材、银靶材、钯靶材等都可以回收再利用。以ITO银靶材为例，生产加工时银靶材会被打穿，产生的丝状残料这些都是可以回收再利用的，废料上会沾染少量的铟，说是氧化用的，这种铟元素处理一下就可以了。所以含金、银、钯、铂、铑这些贵金属的靶材都可以回收再利用的，还有合金靶材之类的。