高纯铬靶的目标杂质控制

2021-04-16 浏览次数:476

高纯铬靶的目标杂质控制:如果靶中的夹杂物数量过多,则在溅射过程中可能在晶片上形成颗粒,从而导致互连线短路或断开,这将严重影响膜的性能。高纯铬靶中的大多数夹杂物是在冶炼和铸造过程中形成的,主要由氧化物组成,但也包括氮化物,碳化物,氢化物,硫化物,硅化物等,因此应在冶炼和铸造过程中使用。坩埚,内部 流道,铸模等由还原性材料制成,在浇铸之前,应将熔体表面的氧化物和其他炉渣彻底清除。 通常,它们在真空或无氧环境中熔融并浇铸。铬靶批发、铬靶价格在市场也是不一样的。


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