钛酸锶靶材

2025-06-02 浏览次数:75

钛酸锶靶材:电子工业中的隐形冠军

在半导体和光学镀膜领域,一种黑色陶瓷材料正在悄然改变电子元器件的性能边界。
这种被称为钛酸锶靶材的特殊物质,以其独特的晶体结构在微波介质陶瓷、MLCC电容器等领域展现出不可替代的价值。


钛酸锶靶材的核心优势源于其介电性能的精确可控。
通过高温固相反应制备时,原料纯度需控制在99.5%以上,烧结温度必须稳定在1350-1450℃区间。
这种严苛的工艺条件造就了材料介电常数高达300的优异特性,同时将介电损耗控制在0.001以下,使其成为5G基站滤波器理想介质材料。


在薄膜沉积过程中,钛酸锶靶材表现出卓越的稳定性。
磁控溅射时,其溅射速率可达传统氧化物的1.5倍,且薄膜厚度均匀性误差不超过±3%。
这种特性令其在制备DRAM存储电容时,能实现介电层厚度突破10nm的技术节点,显著提升存储密度。


材料科学家通过掺杂改性不断拓展其应用边界。
掺入5%钡元素可使居里温度提升至400K,满足汽车电子高温工况需求;而镧系元素掺杂则能诱导出巨介电效应,在微型超级电容器领域开辟新可能。
这些突破使钛酸锶靶材在新能源汽车电控系统中的应用增长年均达27%。


随着原子层沉积技术的普及,钛酸锶靶材正面临新的机遇与挑战。
如何平衡晶格常数(3.905Å)与硅基板的匹配度,如何降低氢退火工艺中的氧空位浓度,成为当前研发的关键突破口。
未来三年,该材料在钙钛矿光伏电池电极层的应用或将带来新一轮需求爆发。


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