靶材包装在双层真空塑料袋中, 我们建议用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中,

 尤其是帖合靶材更需要保存在真空条件下，以避免帖合层氧化影响贴合质量。

对于金属靶材的包装，我们建议少需要包装在洁净的塑料袋中。

靶材保养技巧：

为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧，有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物，这也有助于用户可以连续以大功率密度进行溅射。

靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。金属靶材可以通过四步清洁：

步：用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁；

第二步：与步类似用酒精清洁；

第三步：用去离子水清洗。

在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。

氧化物及陶瓷靶材的清洗建洁用“无绒布”进行清洁。

第四步：在清除完有污垢的区域后，再用高压低水气的氩气冲洗靶材，以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。

关键词：  铬铝靶  钛铝靶

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