由于纯钨很脆，难以加工，所以钨大多数都是与其他的金属形成合金或以钨的化合物被广泛运用。

由于合金靶材的纯度关系到溅射薄膜的性能,靶材的纯度越高,碳杂质含量越低,加工工艺通常采用惰性气体保护降低碳杂质的影响。为实现高机械性能与工艺性能,需尽量提高合金的纯度,对碳元素含量的检测要求相应提高

钨钴钛类硬质合金是在钨钴类硬质合金的基础上适当增加一些钛化物。钛的碳化物的硬度比碳化钨更高，耐磨性也更好。这些特性使它在切削钢材等长切屑材料时的表现更为优越。类似与高速钢中碳化钨机理对硬质合金发明的奠基性贡献，同样地，我也认为钛化物的机理对于金属陶瓷(学名应为钛基硬质合金)的发明具有奠基性贡献。而今天，我们把钨钴类硬质合金和钨钴钛类硬质合金合称为钨基硬质合金(俗称“钨钢”)，它在目前是现代金属切削刀具的不可动摇的主力。

W-Ti合金具有良好的热稳定性、低的电子迁移率、高的抗腐蚀性及化学稳定性等优势,特别适合在高温和高电流环境下使用,因而成为了金属布线扩散阻挡层的主导材料之一

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