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靶材比重计-陶瓷金属合金靶材致密度仪-KW-3000F

为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

靶材在生产制造的过程中需要对其密度进行，采用的方法是阿基米德原理，仪器自动计算出靶材密度g/cm3。目前生产的采用人工对靶材进行升降，由于靶材重量大，操作不便，手动放置靶材到水中容易造成波动，不利于手动计算密度。因此需要一种专用密度仪进行操作。因此解决这一问题就显得十分必要。

技术参数：

型号：KW-3000F

称重精度：0.01g

称重量程：3000g（取样重量3000g以内，如需更大量程，可以定制）

密度精度：0.001g/cm3

靶材密度仪-KW-3000F

靶材比重计主要应用于金属靶材、合金靶材、陶瓷靶材

.金属靶材

镍靶Ni、钛靶Ti、锌靶Zn、铬靶Cr、镁靶Mg、铌靶Nb、锡靶Sn、铝靶Al、铟靶In、铁靶Fe、锆铝靶ZrAl、钛铝靶TiAl、锆靶Zr、铝硅靶AlSi、硅靶Si、铜靶Cu、钽靶Ta、锗靶Ge、银靶Ag、钴靶Co、金靶Au、钆靶Gd、镧靶La、钇靶Y、铈靶Ce、不锈钢靶、镍铬靶NiCr、铪靶Hf、钼靶Mo、铁镍靶FeNi、钨靶、W等。

ITO靶、氧化镁靶、氧化铁靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶，、二氧化铪靶，二硼化钛靶，二硼化锆靶，三氧化钨靶，三氧化二铝靶五氧化二钽，五氧化二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、硒化锌靶、氮化铝靶，氮化硅靶，氮化硼靶，氮化钛靶，碳化硅靶，铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶、溅射靶材等。

铁钴靶FeCo、铝硅靶AlSi、钛硅靶TiSi、铬硅靶CrSi、锌铝靶ZnAl、钛锌靶材TiZn、钛铝靶TiAl、钛锆靶TiZr、钛硅靶TiSi、钛镍靶TiNi、镍铬靶NiCr、镍铝靶NiAl、镍钒靶NiV、镍铁靶NiFe等。

比重（specific gravity）是相对密度（relative density）的旧称。相对密度定义为：某物质的密度与参考物质的密度之比。金属靶材通常是合金靶材才会用到相对密度，相对密度高代表含量高。

用100滑模拟钢弹和钨合金弹撞击钢、铝、铜、钛、铅、钨6种金属靶,实验结果表明长杆穿甲弹的侵彻深度与金属靶材料密度的0.36次幂成反比。建立了一个适合于长杆弹侵彻均质金属靶使用的关系式p/Dp=1.79(ρP/ρt)0.69(ρtV2/Yt)1/3 其中V是子弹的撞靶速度,ρp和ρt是弹材和靶材的密度,Yt是靶材的动态屈服强度,P为侵彻深度,Dp为弹径。

密度越高，精密度越好，镀膜过程中裂靶的概率会低点，建议靶材的密度和纯度都要实时管控，一台好用的检测仪器很重要。