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靶材分类

根据靶材的材质和应用领域进行划分：

一、根据不同材质靶材可分为：金属靶材，陶瓷靶材，合金靶材。

二、根据不同应用领域可分为

1、半导体靶材：

电极、布线薄膜：铝靶材，铜靶材，金靶材，银靶材，钯靶材，铂靶材，铝硅合金靶材，铝硅铜合金靶材等。

储存器电极薄膜：钼靶材，钨靶材，钛靶材等。

粘附薄膜：钨靶材，钛靶材等。

电容器绝缘膜薄膜：锆钛酸铅靶材等。

2、磁记录靶材：

垂直磁记录薄膜：钴铬合金靶材等。

硬盘用薄膜：钴铬钽合金靶材，钴铬铂合金靶材，钴铬钽铂合金靶材等。

薄膜磁头：钴钽铬合金靶材，钴铬锆合金靶材等。

人工晶体薄膜：钴铂合金靶材，钴钯合金靶材等。

3、光记录靶材：

相变光盘记录薄膜：硒化碲靶材，硒化锑靶材，锗锑碲合金靶材，锗碲合金靶材等。

磁光盘记录薄膜：镝铁钴合金靶材，铽镝铁合金靶材，铽铁钴合金靶材，氧化铝靶材，氧化镁靶材，氮化硅靶材等。

光盘反射薄膜：铝靶材，铝钛合金靶材，铝铬合金靶材，金靶材，金合金靶材等。

光盘保护薄膜：氮化硅靶材，氧化硅靶材，硫化锌靶材等。

4、显示靶材：

透明导电薄膜：氧化铟锡靶材，氧化锌铝靶材等。

电极布线薄膜：钼靶材，钨靶材，钛靶材，钽靶材，铬靶材，铝靶材，铝钛合金靶材，铝钽合金靶材等。

电致发光薄膜：硫化锌掺锰靶材，硫化锌掺铽靶材，硫化钙掺铕靶材，氧化钇靶材，氧化钽靶材，钛酸钡靶材等。

5、其他应用靶材：

装饰薄膜：钛靶材，锆靶材，铬靶材，钛铝合金靶材，不锈钢靶材等。

低电阻薄膜：镍铬合金靶材，镍铬硅合金靶材，镍铬铝合金靶材，镍铜合金靶材等。

超导薄膜：钇钡铜氧靶材，铋锶钙铜氧靶材等。

工具镀薄膜：氮化物靶材，碳化物靶材，硼化物靶材，铬靶材，钛靶材，钛铝合金靶材，锆靶材，石墨靶材等。