钛铝合金在真空镀膜行业也应用较广，可以做成一定比例的合金靶材，作磁控溅射镀膜的原材料。在做真空镀膜靶材时钛铝合金有多种成分比例，常用的有钛铝原子比（at%）：90：10、80：20、70：30、50：50、30：70、20：80、10：90

当钛含量减少铝含量相对增加时就只能通过粉末冶金的方法来生产才能达到靶材的要求

钛铝合金在钛原子含量大于等于50%时可以用真空熔铸的方式生产

钛铝合金靶材70：30at%  主要用做装饰镀膜 和工具镀膜上面
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