钛铝合金在真空镀膜行业也应用较广，可以做成一定比例的合金靶材，作磁控溅射镀膜的原材料。在做真空镀膜靶材时钛铝合金有多种成分比例，常用的有钛铝原子比（at%）：90：10、80：20、70：30、50：50、30：70、20：80、10：90

当钛含量减少铝含量相对增加时就只能通过粉末冶金的方法来生产才能达到靶材的要求

约于1970年，就开始有钛铝化合物的研究，但到1990年代，AMG才深入研究它，性能得到很大改进;从2000年开始，加玛TiAl得到实际的应用。

钛铝合金靶材 主要工艺是真空熔炼和粉末冶金2种制作方式
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