当钛含量减少铝含量相对增加时就只能通过粉末冶金的方法来生产才能达到靶材的要求

约于1970年，就开始有钛铝化合物的研究，但到1990年代，AMG才深入研究它，性能得到很大改进;从2000年开始，加玛TiAl得到实际的应用。

钛铝合金在钛原子含量大于等于50%时可以用真空熔铸的方式生产

钛铝合金靶材70：30at%  主要用做装饰镀膜 和工具镀膜上面
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