钛铝合金在真空镀膜行业也应用较广，可以做成一定比例的合金靶材，作磁控溅射镀膜的原材料。在做真空镀膜靶材时钛铝合金有多种成分比例，常用的有钛铝原子比（at%）：90：10、80：20、70：30、50：50、30：70、20：80、10：90

加玛钛铝具有优越的机械性能;在超过600度摄氏温度下仍有好的抗氧化和抗腐蚀性能;使它能代替传统使用的以镍为基的高温合金用在飞机的涡轮机上

钛铝合金靶材 主要工艺是真空熔炼和粉末冶金2种制作方式

约于1970年，就开始有钛铝化合物的研究，但到1990年代，AMG才深入研究它，性能得到很大改进;从2000年开始，加玛TiAl得到实际的应用。
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