钛铝合金在真空镀膜行业也应用较广，可以做成一定比例的合金靶材，作磁控溅射镀膜的原材料。在做真空镀膜靶材时钛铝合金有多种成分比例，常用的有钛铝原子比（at%）：90：10、80：20、70：30、50：50、30：70、20：80、10：90

钛铝合金靶材 主要工艺是真空熔炼和粉末冶金2种制作方式

钛铝(Titanium Aluminide)是一种金属间化学化合物。它们有三种结构;加玛TiAl，阿路法2-TiAl和TiAl3;其中加玛TiAl的性能令人感兴趣，它较轻，抗氧化;耐高温，但延展性较差。

钛原子大于等于80%时的钛铝合金还可以锻造，可以轧制
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