当钛含量减少铝含量相对增加时就只能通过粉末冶金的方法来生产才能达到靶材的要求

钛铝(Titanium Aluminide)是一种金属间化学化合物。它们有三种结构;加玛TiAl，阿路法2-TiAl和TiAl3;其中加玛TiAl的性能令人感兴趣，它较轻，抗氧化;耐高温，但延展性较差。

钛铝合金在钛原子含量大于等于50%时可以用真空熔铸的方式生产

钛铝合金靶材70：30at%  主要用做装饰镀膜 和工具镀膜上面
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